59 Nach Merkmal

ist die beanspruchte Vorrichtung für eine Maschine zur Abscheidung von Barriereschichten auf der Innenwand von Behältern mittels kaltem Plasma vorgesehen. Die hierfür maßgebliche Eignung hat die Vorrichtung dann, wenn sie mit den in den übrigen Merkmalen näher beschriebenen räumlich-körperlichen Merkmalen ohne bauliche Veränderung an eine Plasmabeschichtungsanlage angeschlossen werden kann.

60 Gemäß Merkmal 1.3a soll die Gaszufuhrinstallation mindestens einen zweiten Teil umfassen, der stromaufwärts („vorgelagert“) an die Gasleitungen (54, 56, 76, 78) über Magnetventile angeschlossen ist und eine Verteilungsvorrichtung (M) umfasst, die mindestens einen Mischkopf (48, 50) umfasst. Da der Auslegung die Verfahrenssprache zu Grunde zu legen ist, kommt es insoweit auf das maßgebliche französische Wort „comporter“ an, das für „umfassen“ und nicht für „bestehen aus“ steht. Damit sind weitere Vorrichtungsbestandteile nicht ausgeschlossen. Weiterhin sind die Bezeichnungen „angeschlossen an“ (Übersetzung Streitpatent) und „verbunden mit“ (Übersetzung Klägerin) vor dem Hintergrund des maßgeblichen französischen Wortes „connectée“ Synonyme. Der Fachmann erfährt aus Abs. 0058 des Streitpatents, dass die „Verteilungsvorrichtung (M)“ gemäß Merkmal 1.3a eine Einheit aus zwei Mischmitteln M1, M2 umfasst, die jeweils einen Mischkopf 48 bzw. 50 umfassen (vgl. NK2/NK3 Abs. 0058 i.V.m. Fig. 2). Aufgrund der Bezeichnung „umfassen“ versteht der Fachmann auch diese Aufzählung nicht als abschließend. So erkennt er aus dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 2, dass zusätzlich beispielsweise auch zugehörige Magnetventile und zu den Magnetventilen hin- bzw. wegführende Leitungsenden der Gasleitungen zu den Mischmitteln gehören können.

61 Unter dem Begriff „Mischkopf“ versteht der Fachmann ein eigenes räumlich-konstruktives Vorrichtungsteil, weil andernfalls keine Verbindung zwischen den Gasleitungen und dem Mischkopf vorläge. Insbesondere handelt es sich beim Mischkopf nicht nur um den Zusammenschluss von einzelnen Gasleitungen, denn dann wären nur die Gasleitungen miteinander und diese nicht mit einem laut Patentanspruch eigenen Bauteil „Mischkopf“ verbunden. Wie dieser Mischkopf konkret ausgestaltet ist, insbesondere seine Größendimensionen und die Art der Verbindung mit den Gasleitungen, bleibt hingegen offen.

62 Wie sich aus den Merkmalen 1.4a und 1.4b ergibt, besteht eine parallele Verbindung jedes Mischkopfes einmal (in Fig. 2 über das Ventil 66 bzw. 85) zum Vakuummittel (E) sowie (in Fig. 2 über das Ventil 64 bzw. 84) zur Einspritzdüse. Während das Ausführungsbeispiel in Fig. 2 zwei Mischköpfe zeigt, kann nach dem Wortlaut von Merkmal 1.3a des Patentanspruchs 1 auch nur ein Mischkopf vorhanden sein.

63 Der Fachmann wird – auch in Hinblick auf Merkmal 1.3a − Merkmal 1.3b dahingehend verstehen, dass jeder einzelne Mischkopf stromabwärts („nachgelagert“) jeweils durch ein eigenes gesteuertes Magnetventil an die mindestens eine Einspritzdüse angeschlossen ist, so wie es auch z.B. Abs. 0023 u. 0024 i.V.m. Fig. 2 des Streitpatents zu entnehmen ist. Wie bereits oben (vgl. I.3.2) ausgeführt, stellen die Bezeichnungen „angeschlossen an“ (Übersetzung Streitpatent) und „verbunden mit“ (Übersetzung Klägerin) vor dem Hintergrund des maßgeblichen französischen Wortes „connectée“ dabei Synonyme dar.

64 Die in den Merkmalen 1.3b, 1.4a und 1.4b aufgeführte Einspritzdüse dient dem Einspritzen mindestens eines Gasgemisches (Merkmal 1.4a) in ein Gefäß, das sich in der Vakuumkammer befindet. Dazu muss die Einspritzdüse es ermöglichen, in ein Gefäß eingeführt zu werden (Merkmal 1.3b); soweit die Übersetzung gemäß Streitpatent hier von „eingefügt“ spricht, ist dies zu korrigieren, da das in der Verfahrenssprache verwendete maßgelbliche französische Wort „inséré“ für „eingeführt“ und nicht für „eingefügt“ steht. Ob bei diesem Vorgang nur die Einspritzdüse beweglich ist, indem sie sich zunächst auf das Gefäß zu- und nachfolgend in das Gefäß hineinbewegt oder ob auch das Gefäß beweglich ist und sich zugleich mit der Einspritzdüse oder nur als einziges dieser beiden Bauteile auf die Einspritzdüse zubewegt und nachfolgend sich quasi über diese stülpt, bleibt nach dem Anspruchswortlaut und mangels eines konkret beschriebenen Bewegungsablaufs offen.

65 Das „Vakuummittel (E)“ gemäß Merkmal 1.4a und 1.4b ist eine Einrichtung, mit der ein Unterdruck erzeugt wird, z.B. mittels einer Vakuumpumpe (vgl. NK2/NK3 Abs. 0020 i.V.m. Abs. 0069). Dieses Vakuummittel (E) soll mit der Verteilungsvorrichtung (M) zusammenwirken, um mindestens ein Gasgemisch einzuspritzen, und mit der Einspritzdüse (44) verbunden sein („qui est relié à“). Der Fachmann wird darunter sowohl eine direkte als auch eine indirekte Verbindung verstehen, die beispielsweise mehrere Leitungen/Ventile umfassen kann, so wie es sich auch aus Figur 2 ergibt.

66 Das Gasgemisch gemäß Merkmal 1.4a ist dahingehend auszulegen, dass es sich um ein Gemisch aus mindestens 2 verschiedenen Gasen handeln muss, wobei das eine Gas im Hinblick auf Merkmal 1.2 aus der Verdampfung einer flüssigen Komponente resultiert.

67 Gemäß Merkmal 1.4b soll jeder Mischkopf (48, 50) an das Vakuummittel (E) direkt durch ein Magnetventil (66, 85) angeschlossen sein, das sich parallel zum jeweiligen Magnetventil befindet, durch das der Mischkopf an die Einspritzdüse angeschlossen ist (Merkmal 1.3b), wobei − wie bei der Auslegung der Merkmale 1.3a und 1.3b − die Bezeichnungen „angeschlossen an“ (Übersetzung Streitpatent) und „verbunden mit“ (Übersetzung Klägerin) vor dem Hintergrund des maßgeblichen französischen Wortes „connectée“ Synonyme sind. Eine Anordnung gemäß Merkmal 1.4b ist ebenfalls aus Figur 2 zu entnehmen. Merkmal 1.4b ist daher so zu verstehen, dass vom Mischkopf zunächst eine direkte Verbindung zum Magnetventil besteht, die dann vom Magnetventil aus zum Vakuummittel (E) weiterführt. Ob es sich im weiteren Verlauf zwischen Magnetventil und dem Vakuummittel (E) um eine direkte oder indirekte Verbindung handeln soll, wird hingegen nicht definiert und bleibt somit offen. Im Hinblick auf Figur 2 kann die Verbindung zwischen dem Vakuummittel (E) und dem jeweiligen Mischkopf (48, 50) neben den Magnetventilen (66, 85) auch weitere Ventile (68, 90) umfassen.

83 Nach Hilfsantrag 2 unterscheidet sich Patentanspruch 1 von der erteilten Fassung durch das zusätzliche Merkmal M1.5 H2

84 wobei die Verteilungsvorrichtung eine Einheit aus zwei Mischmitteln, die jeweils einen Mischkopf umfassen, aufweist.

85 Vor dem Hintergrund des Merkmals 1.4b, wonach jeder Mischkopf an das (eine) Vakuummittel (E) angeschlossen ist, wird nach Hilfsantrag 2 somit beansprucht, dass die Vorrichtung 2 Mischköpfe, aber nur 1 Vakuummittel (E) aufweist.

86 Die Aufnahme dieses Merkmals ist zulässig, da es ursprungsoffenbart ist (vgl. NK4 S. 11 Z. 17-19 zu Fig. 2: „A cet effet, le dispositif de répartition M comporte un ensemble de deux moyens de mélange M1, M2, comprenant chacun une tête de mixage, respectivement 48, 50“).

87 Soweit die Klägerin eine unzulässige Erweiterung darin sieht, dass die Aufnahme einzelner Merkmale unzulässige Zwischenverallgemeinerungen enthalte, kann dem aus rechtlichen und tatsächlichen Gründen nicht gefolgt werden.

95 Gegenüber dem verfahrensgegenständlichen Stand der Technik erweist sich die Anspruchsfassung nach Hilfsantrag 2 als neu, da eine anspruchsgemäße technische Lehre nicht neuheitsschädlich vorbeschrieben ist.

96 2.4.1 Soweit im Stand der Technik überhaupt ein Mischkopf gemäß Merkmal 1.3a offenbart ist, fehlt es für ein Feststellen mangelnder Neuheit zumindest entweder an einer eindeutigen Offenbarung von Magnetventilen, an einem Mischkopf als eigenes räumlich-konstruktives Vorrichtungsteil oder an der parallelen Ausgestaltung der Anschlüsse des Mischkopfes durch je ein Magnetventil zum Vakuummittel (E) und zur Einspritzdüse (44) gemäß Merkmal 1.4b, oder schließlich am Vorhandensein von zwei Mischmitteln gemäß Merkmal M1.5^H2, die jeweils einen Mischkopf umfassen, sodass der Gegenstand des Patentanspruchs 1 von Hilfsantrag 2 neu ist.

97 2.4.2 Unabhängig davon, dass in der einzigen als neuheitsschädlich angeführten Druckschrift NK9, die eine Vorrichtung zur Bildung von Aluminiumoxidfilmen auf Silizium-Substraten bei der Herstellung von Halbleitern durch CVD beschreibt, die angeführten Ventile jeweils lediglich allgemein als „valve“ bezeichnet werden, ohne auf ihre konkrete Ausgestaltung einzugehen, fehlt es in NK9 jedenfalls an einer Offenbarung des Merkmals M1.5^H2, da keine zwei Mischköpfe − die jeweils in Parallelschaltung mit dem Vakuummittel (E) und mit der Einspritzdüse (44) verbunden sind −, offenbart sind.

98 Gegenüber dem verfahrensgegenständlichen Stand der Technik erweist sich die Anspruchsfassung nach Hilfsantrag 2 auch als auf einer erfinderischen Tätigkeit beruhend, da eine anspruchsgemäße technische Lehre für den Fachmann nicht nahegelegen hatte.

99 2.5.1 Die NK11, die sich im technischen Umfeld der streitpatentgemäßen Lehre bewegt, zeigt in Figur 1 schon keinen streitpatentgemäßen Mischkopf, weshalb sie auch keine Anordnung gemäß Merkmal M1.5^H2 mit 2 Mischköpfen zeigen kann. Mit der "source gas generation source 20" wird in der NK11 auch nicht im übertragenen Sinn oder andeutungsweise ein streitpatentgemäßer Mischkopf beschrieben. Denn entgegen den Ausführungen der Klägerin verhält sich diese Gaserzeugungseinrichtung 20 nicht wie ein Mischkopf, da NK11 zwar die Erzeugung eines Gases wie z.B. Kohlenwasserstoffgas, aber keine Erzeugung verschiedener Gase, die miteinander gemischt werden sollen, erwähnt (vgl. NK11b Abs. 0027 dritter Satz und Abs. 0031 zweiter Satz). Abgesehen davon geht aus NK11 in keiner Weise hervor, dass diese gemäß den Merkmalen 1.3b und 1.4b über ein Ventil an die Einspritzdüse 9a und parallel zum ersten Ventil über ein zweites Ventil an das Vakuummittel 22 angeschlossen ist. Denn gemäß der Figur 1 wird die Funktion des Anschlusses an das Vakuummittel und die Einspritzdüse durch das Dreiwegeventil 16 übernommen (vgl. NK11b Abs. 0027 i.V:m. Fig. 1). Der Einsatz des Dreiwegeventils hat nach NK11 den Vorteil, dass es die Steuerung der Gasflüsse frei ausführen kann (vgl. NK11 Abs. 0028 erster Satz). Eine Veranlassung, diese Anordnung in eine aufwendigere Anordnung über zwei parallel angeordnete Magnetventile zu ändern, erhält der Fachmann aus NK11 demgegenüber nicht.

100 2.5.2 Auch eine der Druckschriften NK12-NK15 − ggf. unter Heranziehen von NK16, 19, 21 oder 25 – gibt dem Fachmann zu einer solchen Umkonstruktion der Vorrichtung nach NK11 keine Anregung.

101 NK12, die sich ebenfalls mit der Innenbeschichtung von Hohlkörpern wie z.B. Flaschen mittels insbesondere plasma-verstärkter CVD (vgl. NK12 S. 18 Z. 5-9) beschäftigt und sich damit wie die NK11 im technischen Umfeld des Streitpatents befindet, mag zwar verschiedene Mischeinrichtungen 98a, 98b i.S. von streitpatengemäßen Mischköpfen zeigen, die sich auf den ersten Blick auch innerhalb einer „source gas generation source 20“ nach NK11 befinden könnten. Nach NK12 sind diese Mischeinrichtungen auch streitpatentgemäß über Ventile an die Einspritzdüse angeschlossen. Allerdings lassen die Figuren 3 bis 5 erkennen, dass im weiteren Verlauf der Anschluss dieser Mischeinrichtungen an die Pumpeinrichtung 71 (Vakuummittel (E)) nicht parallel zum Anschluss an die Einspritzdüse, sondern über die Einspritzdüse in Serie verläuft, weshalb auch hier Merkmal 1.4b nicht nahegelegt wird (vgl. NK12 Anspr. 28 Z. 13 i.V.m. Fig. 4 u. 5). Damit handelt es sich bei der NK12 um eine andere technische Lösung für die Innenbeschichtung von Hohlkörpern, weshalb der Fachmann keine Veranlassung hatte, die "source gas generation source 20" der NK11 mit der Lehre der NK12 auszugestalten. Darüber hinaus erhält der Fachmann aus NK12 keinen Hinweis, das Dreiwegeventil in NK11 durch zwei parallele Ventile zu ersetzen oder die aufwendige Apparatur nach NK12 in der „frei steuerbaren“ Umgebung der NK11 (vgl. Kap. 2.5.1 a.E.) einzusetzen. Denn dann müsste die gesamte Konstruktion der Vorrichtung nach NK11 aufwendig umgestaltet werden, wofür sich dem Fachmann kein Anlass bietet.

102 Die gleiche Argumentation wie zur NK12 gilt auch für die NK13, die ebenfalls eine plasmaunterstützte CVD-Abscheidung zur Innenbeschichtung eines Hohlkörpers sowie optional auch zur Außenbeschichtung betrifft (vgl. NK13 Abs. 0001 u. Abs 0056). Nach NK13 können Vorratsbehälter mit Massenflussreglern an zumindest einem Mischpunkt angeschlossen werden, von dem eine Leitung zu einer Beschichtungseinrichtung führen kann, wobei die Leitung mit einem Ventil verbindbar ist (vgl. NK13 Abs. 0058 letzte beide Sätze). Durch diese Anordnung können die Gase schnell gewechselt werden, wobei die Durchflussraten definiert eingestellt werden können und unterschiedliche Kombinationen aus verschiedenen Precursoren mit den Träger- und Reaktivgasen möglich sind. Wie in NK12 befindet sich aber im Weiteren das Vakuummittel in serieller Schaltung nach der Einspritzdüse (vgl. Fig. 1), sodass auch hier Merkmal 1.4b nicht nahegelegt wird. NK13 offenbart somit wieder eine andere technische Lösung für die Innenbeschichtung von Hohlkörpern, so dass es wiederum keinen Anlass gibt, die Beschichtungsvorrichtung der NK11 konstruktiv gemäß der Lehre der NK13 umzugestalten.

103 Nach NK14 wird lediglich ein fertiges Gasgemisch angesprochen, das der Gaszuleitung zur Einspritzdüse zugeführt wird (vgl. NK14 S.11 Z. 21-27). Über die Art der Erzeugung dieses Gasgemisches schweigt die NK14. Sie spricht auch keine Mischköpfe o.ä. an. Der Fachmann konnte daher allein schon aus diesem Grund ausgehend von NK11 in Kombination mit NK14 nicht zum streitpatentgemäßen Gegenstand gelangen.

104 Ebenso ist NK15 zwar die Erzeugung eines Gasgemisches und die Zuleitung dieses Gasgemisches über Massenflussregler und Ventile zu entnehmen (vgl. NK15 Spezifikationen auf S. 2 u. 3), es fehlt aber auch hier die Offenbarung eines Mischkopfes, sodass auch keine zwei Mischmittel, die jeweils einen Mischkopf umfassen, vorliegen (Merkmal 1.5^H2). Damit vermag auch die Lehre der NK15 den Sachverhalt des Vorliegens einer erfinderischen Tätigkeit nicht zu ändern.

105 Nach alldem war der Fachmann ausgehend von NK11 nicht veranlasst, durch Kombination mit einer der Druckschriften aus NK12 bis NK15 zum streitpatentgemäßen Gegenstand zu gelangen.

106 2.5.3 NK16 (die der NK6 entspricht) betrifft eine CVD-Vorrichtung, um auf einem Substrat ferroelektrische Filme abzuscheiden, wobei die durch diese Methode überwundenen Nachteile gegenüber der Sol-Gel-Beschichtungsmethode und gegenüber der PVD-Beschichtung mittels Plasma aufgezeigt werden (vgl. NK16, Sp. 1 Z. 9-12 u. 20-40, Sp. 2 Z. 39-43, Sp. 2 Z. 60-63). Nach NK16 werden in einer Mischkammer 5 (was mit einem gegenständlichen Mischkopf gleichsetzbar ist) die von Trägergasen wie Argon oder Sauerstoff geleiteten Metallgase miteinander gemischt (vgl. NK16 Sp. 2 Z. 55-59, Merkmal 1.2). Der Mischkammer kann weiterhin Sauerstoff oder Ozongas zugeführt werden, um die Metallgase in der Mischkammer zu oxidieren (vgl. NK16 Sp. 3 Z. 50-52, Teilmerkmal aus 1.3a). Nach Figur 1 der NK 16 sind der Mischkopf 5, die Einspritzdüse 6 in der Prozesskammer 7 und die Pumpe 10 (Vakuummittel E) in Reihe geschaltet. Eine parallele Anordnung der Verbindungen der Mischkammer 5 zum Vakuummittel (E) und zur Einspritzdüse (44) gemäß Merkmal 1.4b i.V.m. 1.3.b ist in NK16 nicht offenbart.

107 Weiterhin führen nach NK16 alle Gase, die aus den flüssigen Vorstufen entstehen und einzeln oder als Gasgemische weitergeleitet werden, in ein und dieselbe Mischkammer 5 (vgl. NK 16 Sp. 2 Z.45-59 i.V.m. Fig. 1), während anspruchsgemäß nach Hilfsantrag 2 zwei Mischköpfe bzw. Mischkammern vorhanden sein sollen, die an dieselbe Einspritzdüse angeschlossen sind. Es gibt in NK16 auch keinen Hinweis, von einer solchen Anordnung, bei der alle Gase in dieselbe Mischkammer geleitet werden, abzuweichen. Den Druckschriften NK17 bis NK26 ist gleichermaßen weder ein Hinweis noch eine Anregung auf eine solche Anordnung mit 2 Mischköpfen zu entnehmen. Selbst bei einer – wie die Klägerin behauptet – Ausstattung der Vorrichtung nach NK16 mit einem entsprechenden Bypass wäre der Fachmann somit nicht zu einem Gegenstand gemäß Hilfsantrag 2 gelangt.

108 2.5.4 Der offenkundigen Vorbenutzung gemäß dem Anlagenkonvolut NK27 sind keine Mischköpfe, sondern – wie die Klägerin selber ausführt – lediglich Zusammenschlüsse von einzelnen Gasleitungen zu entnehmen. Ausgehend davon lag eine Ausgestaltung gemäß Hilfsantrag 2 nicht nahe.

109 2.5.5 Schließlich vermag auch die NK38 nichts aufzuzeigen, was geeignet wäre, die erfinderische Tätigkeit des Gegenstands von Patentanspruch 1 des Hilfsantrags 2 in Frage zu stellen. Denn nach NK38 werden zum einen mehrere gasförmige Vorläufer aus den Behältern 11/12 oder 31/32 immer der gleichen Mischkammer 20 zugeführt, und zum anderen wird Sauerstoff als Reaktionsgas nicht der Mischkammer zugeführt, sondern direkt in die Reaktionskammer geleitet. Somit wird Merkmal M1.5^H2 nicht angeregt. Auch wenn, wie die Klägerin vorträgt, der Fachmann die Vorrichtung nach NK38 beispielsweise durch Verdopplung der Mischkammern erweitern wollte, würde er auch eine zweite Vakuumpumpe einsetzen, die jedoch gemäß Hilfsantrag 2 nicht vorgesehen ist. Darüber hinaus lehrt NK38 ausdrücklich, mit der Vorrichtung auch 2 Schichten auftragen zu können (vgl. Sp.2 Z. 53-61), was dem streitpatentgemäßen Anliegen entspricht. Somit liegt vor diesem Hintergrund keine Veranlassung zugrunde, die Vorrichtung nach NK38 im Sinne einer Verdopplung der Mischkammern erweitern zu müssen.